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盛美上海:首次获得Ultra C SiC 碳化硅衬底清洗设备的采购订单|全球快看点
来源:证券时报·e公司      时间:2023-03-28 09:41:24


(资料图片仅供参考)

盛美上海宣布首次获得Ultra C SiC 碳化硅衬底清洗设备的采购订单。该平台还可配置盛美上海自主研发的空间交变相位移(SAPS)清洗技术,在不损伤器件的前提下实现更全面的清洗。该订单来自中国的碳化硅衬底制造商,预计将在2023年第三季度末发货。

(文章来源:证券时报·e公司)

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